TFT texnologiyasi 1990-yillarda ishlab chiqilgan. U keng miqyosli yarimo'tkazgichli barcha integral mikrosxemalarni ishlab chiqarish texnologiyasi uchun yangi materiallar va yangi jarayonlarni qabul qiladi. U suyuq kristall (LC), noorganik va organik yupqa plyonkali elektroluminesans (EL va OEL) tekis panelli displeylar uchun ishlatiladi. asos. TFT - bu shisha yoki plastmassa substrat singari yagona plastinka (albatta, u gofretda ham bo'lishi mumkin) püskürtme va kimyoviy cho'ktirish jarayonlari orqali ishlab chiqarish davrlari uchun zarur bo'lgan turli xil plyonkalarni hosil qilish uchun va keng ko'lamli yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalar (LSIC). ) plyonkalarni qayta ishlash orqali ishlab chiqariladi. . Yagona kristalli substratlardan foydalanish xarajatlarni sezilarli darajada kamaytirishi mumkin va an'anaviy keng ko'lamli integral mikrosxemalarni katta maydon, ko'p funktsiyali va arzon yo'nalishlarga kengaytirishdir. Katta maydonli shisha yoki plastmassa substratlarda piksellarning (LC yoki OLED) kommutatsiya ko'rsatkichlarini boshqaradigan TFTlarni ishlab chiqarish, silikon plitalarga katta hajmli IC ishlab chiqarishga qaraganda ancha qiyin. Ishlab chiqarish muhitiga (tozalash darajasi 100), xom ashyoning tozaligiga (elektron maxsus gazning tozaligi 99,999985%), ishlab chiqarish uskunalari va ishlab chiqarish texnologiyasiga qo'yiladigan talablar yarimo'tkazgichlarning keng ko'lamli integratsiyasidan yuqori. . Bu zamonaviy yirik ishlab chiqarishning eng yuqori qismidir. texnologiya. Uning asosiy xususiyatlari:
(1) Katta maydon: Katta maydonli shisha substratning birinchi avlodi (300mm × 400mm) TFT-LCD ishlab chiqarish liniyasi 1990-yillarning boshlarida ishlab chiqarila boshlandi. 2000 yilning birinchi yarmiga kelib, shisha substratning maydoni 680 mm × 880 mm gacha kengaytirildi) va shisha taglikning o'lchami 950 mm × 1200 mm. Shisha substrat ham ishga tushiriladi. Printsipial jihatdan, hududni cheklash yo'q.
(2) Yuqori integratsiya: Suyuq kristall proektsiyalash uchun ishlatiladigan 1,3 dyuymli TFT chipi millionlab piksellarni o'z ichiga olgan XGA o'lchamiga ega. SXGA (1280 × 1024) o'lchamlari bilan 16,1 dyuymli TFT massivli amorf kremniyning plyonka qalinligi atigi 50nm ni tashkil qiladi va TAB ON GLASS and SYSTEM ON GLASS texnologiyalari, uning IC ning integratsiyasi, uskunalar va etkazib berish texnologiyasiga bo'lgan talablar va texnik qiyinchilik Hammasi an'anaviy LSIdan oshib ketadi.
(3) Kuchli funktsiyalar: TFT birinchi navbatda suyuq kristallarning yorug'lik valfining xususiyatlarini yaxshilash uchun matritsaning joylashuvi sxemasi sifatida ishlatilgan. Yuqori aniqlikdagi displeylar uchun 0-6V (odatda 0,2 dan 4V gacha) diapazonda voltajni tartibga solish orqali ob'ektni aniq boshqarishga erishiladi, bu esa LCD displeyga yuqori sifatli va yuqori aniqlikdagi displeylarga erishish imkonini beradi. TFT-LCD displey sifati bo'yicha CRT dan oshib ketgan insoniyat tarixidagi birinchi tekis panelli displeydir. Va odamlar haydovchi IC ni shisha substratga birlashtira boshlaydilar va butun TFT funktsiyasi yanada kuchliroq bo'ladi, bu an'anaviy keng ko'lamli yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalar bilan taqqoslanmaydi.
(4) Arzon narx: Shisha substrat va plastmassa substrat katta miqyosdagi yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalarning narx muammosini tubdan hal qiladi va keng ko'lamli yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalarni qo'llash uchun keng dastur maydonini ochadi.
